（原标题：长鑫存储获得温度操控专利，可操控半导体机台工艺腔室中反响窗口的温度）
金融界2024年1月13日音讯，据国家知识产权局公告，长鑫存储技能有限公司获得一项名为“一种温度操控办理体系及办法、设备、存储介质“，授权公告号CN113594067B，请求日期为2021年7月。
专利摘要显现，本请求施行例供给一种温度操控办理体系及办法、设备、存储介质，其间，所描绘的办法包含：获取半导体机台的工艺腔室中反响窗口的当时温度；对所述当时温度与预设温度作比较，得到比较成果；根据所述比较成果，调理所述工艺腔室的排气通道的排气量，以操控所述反响窗口的温度。
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