经专家审定通过，湖北省市场监督管理局拟批准发布《集成电路检测系统加载板校准规范》等33项湖北省计量技术规范，现将相关规范予以公示。
经专家审定通过，湖北省市场监督管理局拟批准发布《集成电路检测系统加载板校准规范》等33项湖北省计量技术规范，现将相关规范(具体名单及报批稿详见附件)予以公示，如有不同意见，请于2024年4月15日前反馈省市场监督管理局计量处。
磁屏蔽室是由高导磁材料(坡莫合金、硅钢等)制作成闭合的腔体。外部干扰磁场的磁通量绝大部分会沿着高导磁材料制造成的腔体壁通过，进入腔体内部的磁通量很少，这样就在腔体内部一些范围内形成近零磁空间，用于屏蔽恒定磁场及交变磁场。磁屏蔽室按照材料分类主要有坡莫合金磁屏蔽室、硅钢磁屏蔽室、纯铁磁屏蔽室及很多材料相互组合建造的磁屏蔽室。磁屏蔽室一般有长方体、近似球体或椭球体等形状。
本规范按照国家计量技术规范JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、 JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。
本规范是首次制定的湖北省计量校准规范。本规范适用于对新制造的、新购置的、使用中和修理后的最大屏蔽系数不超过120dB(不大于1kHz)磁屏蔽室的校准。屏蔽系数大于120dB、频率1kHz～100kHz的屏蔽室的校准可参照执行。
沥青混合料车辙试验仪是用于测定沥青混合料高温抗车辙能力的专用设备，根据效率功能分为单路、多路两种类型，工作原理是在规定温度条件下，车辙仪控制车辙试验机的试验轮给试件加载一定荷载，测定试件在试验轮往返行走一定次数情况下所形成的车辙变形速率。车辙仪由车辙试验机和恒温室组成，其中车辙试验机包括试验轮、试验轮支架、滑动板、加载装置、配重、立柱、位移传感器、曲柄连杆、运行导轨、变速器、试验台等。恒温室包括保温层、温度控制传感器、温度循环系统等。车辙仪(多路)包含多个车辙试验机，多个车辙试验机为联动结构，可一起进行多组车辙试验。
JJF 1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列文件。
本规范为首次发布。本规范适用于沥青混合料车辙试验仪的校准，其他类似的沥青混合料车辙试验仪可以参照本规范校准。
气相分子吸收光谱仪是采用气相分子吸收光谱法进行定量分析的仪器。其工作原理是基于朗伯-比尔定律：将被测组分通过化学反应转化为气体(如分析氨氮时将被测组分氧化为亚硝酸盐氮后再转化为二氧化氮)，该气体接受特定波长的光辐射产生相应的分子振动吸收，在一些范围内对光的吸收程度与其浓度成正比，计算得出被测组分的含量。
气相分子吸收光谱仪主要由进样单元、反应单元、气体吸收池、光电检测单元和数据处理单元组成。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》和JJF 1059.12012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列规范。本规范主要参考了GB/T 420272022《气相分子吸收光谱仪》的相关内容。
蔡恩杯黏度计为流出型黏度计，大多数都用在实验室，车间等环境下，快速测量黏度或调节多种不同流体的黏度。其工作原理是利用试样在自身重力的作用下产生流动，以一定量的试样在一定的温度下从黏度计中流出的时间来描述试样的黏度。它为圆柱形、球形底，配有较长提手，按其底部开有的小孔的尺寸分为5个型号，合成一套，分别测量不同黏度的产品，测定的范围为(5～1800)mm2/s。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定度评定与表示》、共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
电子防潮柜的工作原理主要是利用化学高分子吸湿、半导体冷凝吸湿和氮气除湿等方式，使防潮柜内湿度降低，通过控制器将防潮柜湿度稳定在设定的湿度值。电子防潮柜大范围的应用于半导体器件、细小料粒产品、药材，矽圆晶片、液晶玻璃基片、光学胶片及镜片、石英振动器、精密仪器仪表等贮存。根据湿度范围，分为中湿段、低湿段和超低湿段。中湿段一般控制不潮湿，相对湿度能达到30%，低湿段控制在20%以下，超低湿则能够达到10%以下。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定度评定与表示》、JJF 11012019《环境试验设备温度、湿度参数校准规范》、GB/T 5170.12016《电工电子科技类产品环境试验设备检测验证的方法总则》共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。本规范适用于湿度范围(5～60)%RH、温度范围(10～35)℃的电子防潮柜湿度、温度偏差的校准。
检测装置大多数都用在对运载火箭开罩分离系统的前罩抛罩、后罩解锁、后罩分离进行功能测试。检测装置主要是通过电磁阀控制前后罩气缸的工作状态，检测前罩抛罩、后罩解锁、后罩分离等功能是不是正常，并通过检测压力传感器的气压值判定管路工作气压是不是满足要求。检测装置主要由单片机控制板、参数设置板、输出控制板、显示驱动板四块集成电路板组成。
JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001《通用计量术语及定义》、JJF1059《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
固定式 X、辐射监测仪由辐射探测器、前置放大器、数字信号处理系统和显示装置等组成，通常需外接电源，由电缆连接组成一个整体。X、射线与辐射探测器发生相互作用，转化为电信号经前置放大器与数字信号处理系统来进行放大和整形等处理后由显示装置进行显示。固定式 X、辐射监测仪大量应用于核军工、核电厂、辐射监测站、辐照加工场、放射医疗等场所的辐射水平监测。
JJF 1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列文件。
本规范技术内容确定主要参考 GB/T 140542013《辐射防护仪器 能量在50keV~7MeV 的 X 和 辐射固定式剂量率仪、报警装置和监测仪 》 、GB/T4835.1-2012《辐射防护仪器、X 和辐射周围和/或定向剂量当量(率)仪和/或监测仪 第 1 部分：便携式工作场所和环境测量仪与监测仪》、 GB/T 10253-2012《液态排出流和地表水中放射性核素监测设备》、JJF 1733-2018 《固定式环境辐射空气比释动能(率)仪现场校准规范》、JJF(鄂)75-2021 《固定式 X、剂量当量(率)仪和监测仪校准规范》等制订而成。
本规范为首次发布。本规范适用于使用点源法对固定式 X、辐射监测仪开展的现场校准，使用点源产生的辐射辐参考值应包含在固定式 X、辐射监测仪的测量范围内。本规范不适用于便携式 X、辐射剂量当量率仪和 X、辐射空气比释动能率仪的校准。
声学和振动数据转换器由模拟电信号转数字信号和数字信号转模拟信号的硬件与控制软件组成，是实现声学和振动数字测量的核心设备。数据转换特性是声学振动测试中关键的基础指标。声学和振动数据转换器主要具有两个核心功能: 数模转换功能实现信号发生器、音频播放器等设备的模拟信号输出，涉及相关功能描述时简称为数模转换器。模数转换功能实现对信号的检测、测试和分析等功能，涉及相关功能描述时简称为模数转换器。
本规范为首次发布。本规范适用于 0.01 Hz~200 kHz 声学和振动数据转换器的校准。
真耳分析仪基本功能是在外耳道中测量近鼓膜处声压级，分析各种声信号传入人耳的响应变化，可用于人的听力辅助诊断、助听器验配、耳机降噪等特性测试。真耳分析仪主要由声源、探管传声器、参考传声器以及数据处理模块组成，工作频率范围一般为(125～8000)Hz。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定评定与表示》共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。本规范适用于真耳分析仪校准。有真耳分析功能的仪器可以参照本规范进行校准。
内涂膜测试仪是金属包装行业的常用仪器，大多数都用在空罐内涂膜完整性检测，通过测定电流值反映涂膜的完整性、内涂膜致密性。
内涂膜测试仪由主机和配套夹具组成，夹具配备两个电极。主机由电压源和电流表两部分所组成。工作时，被测罐内加特定电解溶液，两个电极分别接罐体和溶液。电压源在两个电极之间提供一个稳定的直流电压，两个电极分别与电解溶液和罐体外壁接触形成电流通路。电流表测量实时电流值。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。本规范适用于罐内涂膜完整性测试仪的校准，其他具有类似原理的内涂膜测试仪和盖涂膜测试仪也可参照本规范进行校准。
引伸计是试验机对试样施加轴向力时，测量试样线变形的装置，包括测量、指示或记录系统。接触式引伸计，如电阻应变式、电感式引伸计、机械电子式引伸计等。
本规范的大变形引伸计(以下简称引伸计)大多数都用在测量非金属及形变量很大的塑性材料，一般来说，引伸计主要由光电编码器+滑轮组、夹持臂固定座、上夹持臂、下夹持臂、导向杆、滑动套和控制器等组成。
本规范根据JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001《通用计量术语及定义》、JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》规定的规则编写。
本规范系首次发布。本规范适用于最大变形量不小于100mm的接触式大变形引伸计的校准。其他测量原理类似的大变形引伸计可参照本规范执行。
电梯综合测试仪是用于测量涉及电梯乘运质量的振动和噪声信号的设备。通过传感器测量电梯轿厢的振动信号和噪声信号，得到电梯运行的加速度、噪声等量值。测试仪由测量三个正交坐标轴加速度的传感器、测量声压级的传感器、数据采集系统、数据存储系统，数据处理系统等组成。
JJF1001-2011 《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》、JJF1094-2002 《测量仪器特性评定》及JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列文件。
本规范主要参考GB/T 7024-2008《电梯、自动扶梯、自动人行道术语》、GB/T 10058-2009《电梯技术条件》、GB/T 10059-2009《电梯试验方法》以及GB/T 24474.1-2020《乘运质量测量 第1部分：电梯》等编制而成。
本规范为首次发布。本规范适用于对电梯综合测试仪的校准，其他原理类似的仪器可参照本规范进行校准。
管线金属定位仪一般由发射机、接收机及其他辅助配件组成，发射机通过感应、直接、夹钳等方式向金属管线施加特定幅频特性的激励信号，接收机可在金属管线上方探测到响应信号，通过一系列分析判定管线或缺陷位置。可用于电力、自来水、燃气等金属输送管线或敷设金属示踪线的水管、光纤、塑料燃气管等的定位。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012 《测量不确定度评定与表示》等共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。本规范适用于管线金属定位仪的校准，其他原理类似的检测设备可参照本规范进行校准。
加压流体萃取仪是一款用于从固体或半固体样品中快速萃取、分离待萃取成分的自动化样品前处理仪器，大多数都用在环境监视测定，农产品和食品检测，制药，石化，聚合物工业等领域。其主要工作原理是通过升高萃取过程中的温度和压力，增加样品中待萃取成分的溶解度和扩散效率，以此来实现待萃取成分的高效分离。该类仪器的主要组成部分一般来说包括：数字温控模块、溶剂注入模块、萃取池、溶剂回收模块，仪器结构图见下图1。依据仪器能否实现自动、连续萃取多个样品，以及是否具有额外的样品处理功能，可细分为半自动型、全自动型和多功能型。
本规范为首次发布。本规范适用于半自动型、全自动型、多功能型加压流体萃取仪的校准。
雷击计数器校验仪(简称校验仪)是校验雷击计数器的一种仪器。校验仪在雷击计数器两端输入模拟雷电冲击电压，使雷击计数器工作。通过雷击计数器动作次数，判断雷击计数器动作的可靠性。
其硬件上主要由试验变压器、整流二极管、充电电阻、充电电容、按键操作单元等组成。具有工频电流校验功能的计数器校验仪还由工频逆变单元、工频升压变压器、电流调整单元等部分组成。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定评定与表示》等共同构成支撑校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。本规范适用于输出峰值电压不高于5kV雷击计数器校验仪的校准，也适用于具有相同原理的仪表的校准。
毛细管塞比重瓶是一种量入式玻璃量器，通常采用钠钙玻璃或硼硅玻璃制成，常用于测定原油和石油产品的密度。其原理是通过比较相同体积的试样和水的质量来确定密度。毛细管塞比重瓶常见型式为防护帽型、盖-卢塞克型、广口型。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列规范。
本规范参考了 JJG 1962006《常用玻璃量器检定规程》、GB/T 66822008 《分析实验室用水规格和试验方法》、GB/T 133772010《原油和液体或固体石油产品 密度或相对密度的测定 毛细管塞比重瓶和带刻度双毛细管比重瓶法》、ISO35071999《实验室玻璃器皿比重瓶》文件中相关术语、技术指标、测量方法等内容。
本规范为首次发布。本规范适用于测量范围(1～100)mL 的玻璃毛细管塞比重瓶的校准。其他容量的玻璃毛细管塞比重瓶也可参照本规范校准。
遮阳系数测定仪是根据玻璃的分子对紫外、可见、近红外区辐射光的选择性吸收和反射，与太阳光辐射相对光谱分布和波长间隔的加权函数，得到太阳光的直接透射比、直接反射比这两个基本指标，然后根据这两个基本指标，计算出太阳光的直接吸收比、二次热传递系数、太阳能总透射比，最后计算出玻璃构件的遮阳系数，从而对样品进行定量分析和定性判别。
遮阳系数测定仪主要由光源、单色器、样品积分球、检测器、信号处理和显示与存储系统组成。
本规范参考 GB/T 26802021《建筑玻璃可见光透射比、太阳光直接透射比、太阳能总透射比、紫外线透射比及有关窗玻璃参数的测定》制定。
本规范为首次发布。本规范适用于对窗玻璃及玻璃幕墙等建筑玻璃的遮阳系数进行测定的遮阳系数测定仪的校准。
钻孔电视成像仪是运用电视成像技术，探测钻孔、管道内壁状态的仪器，广泛应用在工程地质、水文地质、地质找矿、岩土工程、矿山等领域。钻孔电视成像仪主要由主机、探头、线缆绞车、滑轮和深度计数器组成。
本规范为首次发布。本规范适用于钻孔电视成像仪的校准，钻孔全景数字成像仪、钻孔成像分析仪等其他类似的仪器也可参照本规范进行校准。
低温箱是对箱内温度可控制在(-25～-164)℃温度区间内，用消耗电能的手段来制冷，具有适当容积和装置的绝热箱的总称。低温箱按门或盖的打开方式可分为顶开式(卧式)和直立式(立式)；按特性点温度可分为：-25℃、-30℃、-40℃、-50℃、-60℃、-86℃、-140℃、-150℃、-164℃类型。低温箱主要用于在规定的温度范围内对放入其中的物品进行可靠的储藏，广泛应用于医疗卫生、生物制药、食品饮料、农业畜牧、化工、军工、科学研究等领域。
JJF 1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑校准规范制修订工作的基础性系列规范。本规范参照 GB/T 20154-2014《低温保存箱》、YY/T 1757-2021《医用冷冻保存箱》中规定的相关术语定义和技术内容。
本规范为首次发布。本规范适用于温度范围(-25～-164)℃，采用封闭式电动机驱动压缩式低温保存箱计量性能的校准。
影像测量RTK接收机是具备摄影测量功能的RTK接收机，由全球导航卫星系统(Global Navigation Satellite System，GNSS)天线、板卡、惯性测量单元(Inertial Measurement Unit，IMU)、影像测量传感器等部分组成。接收机采用GNSS和IMU组合测量，可获取接收机的位置与姿态，结合影像测量传感器可获取多张影像，并根据交会测量得到影像中目标点的坐标，也可根据位置与姿态信息将放样点的坐标转换到影像坐标系下虚拟显示，进行影像放样，或在接收机倾斜状态下对当前姿态进行补偿，获取测量杆尖的坐标。
影像测量RTK接收机广泛应用于工程测量领域，如土地勘测、建筑施工、道路建设、水利水电工程等，特别是遮挡、障碍等复杂、危险场景下的非接触式测量，以及建筑物的三维测量与建模。
JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》和JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。本规范适用于影像测量RTK(real-time kinematic survey)接收机的校准，以及其他具有倾斜测量或断点续测功能的RTK接收机的校准。
监测型 GNSS 接收机，是一种固定在待监测点上连续运行的 GNSS 终端设备，采用伪距和载波相位观测值进行相对定位，给出实时或准实时位移量，主要用于大坝、边坡、矿山、建筑、桥梁、铁路等安全监测领域。
地磁经纬仪，也称DI仪，主要由无磁经纬仪、磁通门传感器、磁通门磁强计主机、线缆四部分组成，用于地磁场绝对方向的测量。地磁经纬仪的磁通门传感器在水平面内旋转至示值为零时，敏感轴与磁场方向垂直，结合望远镜和水平度盘测量目标方向与磁北方向夹角，即目标的磁方位角；地磁经纬仪的磁通门传感器在地磁场方向所在的铅垂面内旋转至示值为零时，通过竖直度盘读数计算得到磁倾角。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列文件。
垂线观测仪是一种用于测量正、倒垂线装置的仪器，主要应用于水利水电大坝、船闸、高层建筑物等大型工程的变形监测，也称为垂线坐标仪。常见的垂线仪主要有光学和光电式等类型。
光学垂线仪工作时，通过横、纵导轨移动照准部，使得照准光路对准被测垂线，并利用测微手轮读取相应横、纵轴坐标；光电式垂线仪利用平行光使垂线产生的阴影投射到CCD传感器上，再通过图像处理分析得到垂线投影的坐标。
JJF 10712010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 10012011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.12012《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列文件。
本规范为首次发布。本规范适用于光学和光电式垂线观测仪(垂线坐标仪)的校准，其他类型垂线观测仪的校准可以参照执行。
幕墙检测装置是通过预定的程序作用于被检建筑幕墙试件，从而测量建筑幕墙的气密、水密、抗风压和层间位移性能的设备。
幕墙检测装置由压力箱、安装横架、供压装置(包括供风设备、压力控制装置)、淋水装置、测量装置(包括差压计、空气流量测量装置、水流量测量装置及位移测量装置)及静力加载装置组成。
本规范以JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001《通用计量术语及定义》及JJF 1059.1《测量不确定度评定与表示》作为基础性系列规范进行制定。
万能分度头一般是蜗轮蜗杆结构，其传动比为1/40，手轮转动一周为9。万能分度头带有刻度环，刻度环每小格为1，分度游标每小刻为10。
JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》和JJF1094-2002《测量仪器特性评定》共同构成本规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。本规范适用于蜗轮蜗杆传动、传动比为1/40、主要采用简单分度方式来实现工件分度的万能分度头的校准。其他分度方式的万能分度头可参照本规范进行校准。
DCS，是一种基于计算机通信的自动化控制系统，广泛应用于电力、冶金、石化等各行各业。其主要由控制单元(包括通讯模块、控制器模块、I/O 连接模块和各种信号输入输出模块)、操作单元(包括操作站、服务器等人机会话接口站点)、通信网络(包括 I/O 总线、网络)和供电单元组成(如图 1)。现场信号经控制单元通过 I/O总线上行至操作单元，经数据处理后形成相应控制信号，再通过 I/O 总线下行至控制。
PLC，是种专门为在工业环境下应用而设计的数字运算操作电子系统，用来在其内部存储执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数和算术运算等操作的指令，并通过数字式、模拟式的输入和输出，控制各种类型的机械或生产过程。主要由微处理器、通讯及编程接口、系统存储器、用户存储器、I/O 扩展接口、输入部件和输出部件组成。
本规范依据国家计量技术规范 JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。
数字集成电路测试系统用于对数字集成电路进行技术指标参数测试，主要可分为直流参数(DC参数，也称为电学参数)测试和交流参数(AC参数，也称时间参数，以下均称时间参数)测试。时间参数测试主要涉及的关键部件包括数字通道和时间测量单元等两类硬件部分，其中关系到集成电路测试结果准确与否的关键参数包括：数字通道测量传输延迟时间准确度，数字通道同步偏差时间，数字通道方波信号时间间隔准确度，时间测量单元时间间隔测量准确度等4个方面。
数字集成电路测试系统是集成电路测试的主要设备，在测试接口板上外围电路的配合下形成完善的测试环境，按照被测集成电路数据手册的要求执行相应的电气指标测试项，测试结果是判定高速集成电路能否满足使用要求的重要判据。
本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。
加载板可以在一定程度上完成集成电路测试系统输入/输出端口与被测集成电路的输入/输出引脚之间的互连，也能作为计量标准装置与被校准集成电路测试系统信息交互。
本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。
本规范为首次发布。本规范适用于集成电路测试系统加载板的校准，也可用于新制备的加载板交付和验收时的性能验证。
晶圆材料电阻特性测试系统主要通过测试晶圆表面电阻并计算电阻率进而推算晶圆加工过程中的工艺参数，比如刻蚀厚度和宽度、金相沉积的宽度和厚度等加工特性。是集成电路加工过程中的最重要的工艺控制手段之一。片上标准电阻通过将已经溯源的标准电阻值复现在晶圆片上，晶圆材料电阻特性测试系统自动测试晶圆上的标准电阻进而实现量值的溯源，达到对晶圆材料电阻特性测试系统校准的目的。
片上标准电阻复现常用的标准电阻值在晶圆片上，晶圆材料电阻特性测试系统通过其探针直接测量晶圆片上的标准电阻值，并与标准值进行对比，实现对晶圆材料电阻特性测试系统的校准。
本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。
本规范为首次发布。本规范适用于新购进、使用中、修理后的晶圆材料电阻特性测试系统的校准。
晶圆测试系统，用于对数字电路、模拟电路、混合信号电路等各类刻蚀好的集成电路裸晶圆片进行测试的能力。在集成电路生产测试、验证测试、性能测试、工艺改进、测试技术研究等方面有着大范围的应用。
晶圆测试系统包括对功能及参数的各类测量单元、控制晶圆片进给以及传输测量信号的探针台。晶圆片放置于探针台的承片台上通过探针与测量单元联接，通过测试程序控制测量单元及探针台，完成对晶圆片的功能及参数测试。因此，通过对集成电路测量单元与探针台位移单元的校准实现晶圆测试系统的校准。
晶圆测试系统根据不同型号，由不同的模块单元组成，主要包括各类集成电路测量单元与自动程度不同的各型探针台。
本规范的编制依据JJF 1071-2010《国家计量校准规范编写规则》。本规范适用于新购进、使用中、修理后的晶圆测试系统的校准。
膜厚标准样片是针对集成电路工艺参数测量设备，通过复现集成电路关键尺寸量值，通过椭偏仪进行测量，在实际工作状态下对椭偏仪完成校准。
标准样片是具备一个或多个典型值的专用标准样品，通过校准后大多数都用在椭偏仪的校准、实验室比对和能力验证等。
本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》编制。
本规范规定了厚度在10nm~1000nm之间的氧化层膜厚标准样片的校准。
数字集成电路标准样片是已确定一种或多种参数的专用集成电路，以标准样片为计量标准器，通过复现数字集成电路参数的量值对测试系统进行校准，其校准结果反映了被校准测试系统在实测工况下的综合测量状态。标准样片的特性参数通过校准后大多数都用在数字集成电路测试系统的校准、实验室比对和能力验证等。
标准样片的管脚定义如图1所示，一般采用标准的双列直插式封装，管脚包括电源、地、控制、输入、输出等管脚，其工作时数字集成电路检测系统对其电源、地、控制管脚根据具体参数施加相应的信号，使标准样片进入该参数的工作状态后，控制检测系统对标准样片输入、输出管脚施加/测量对应参数即可得到该参数的测量值。
本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。
线宽标准样片是针对集成电路工艺参数测量设备，通过复现集成电路关键尺寸量值，通过扫描电子显微镜做测量，在实际在做的工作状态下对扫描电子显微镜完成校准。标准样片是具备一个或多个典型值的专用标准样品，用于线宽测量仪器的校准。
本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》编制。
本规范为首次发布。本规范适用于线m之间的线宽标准样片线宽的校准。附件：33项规范报批稿及编制说明公示.zip
凡本站注明“来源：人机一体化智能系统网”的全部作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-人机一体化智能系统网合法拥有版权或有权使用的作品，没有经过本网站授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：人机一体化智能系统网”。违反上述声明者，本站将追究其有关规定法律责任。
本站转载并注明自其它来源（非人机一体化智能系统网）的作品，目的是传递更加多信息，并不代表本站赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵犯权利的行为的直接责任及连带责任。如别的媒体、平台或个人从本站转载时，必须保留本站注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。如擅自篡改为“稿件来源：人机一体化智能系统网”，本站将依照法律来追究责任。
鉴于本站稿件来源广泛、数量较多，如涉及作品内容、版权等问题，请与本站联系并提供相关证明材料：联系方式；邮箱：。
